چین عرضه نخستین دستگاه لیتوگرافی تولید داخلی خود را آغاز کرد

چین از نخستین دستگاه لیتوگرافی پرتوی الکترونی (e-beam) خود با عنوان «شی‌ژی» (Xizhi) پرده‌برداری کرد. این دستگاه که در دانشگاه ژجیانگ طراحی و ساخته شده است، مرحله‌ای کلیدی در تلاش‌های این کشور برای نیل به خوداتکایی در صنعت تراشه و عبور از تحریم‌های دولتی ایالات متحده به شمار می‌رود.

به سبب تحریم‌های ایالات متحده و هلند، چین از دسترسی به پیشرفته‌ترین دستگاه‌های لیتوگرافی فرابنفش شدید (EUV) که توسط شرکت هلندی ASML تولید می‌شوند، محروم مانده است؛ دستگاه‌هایی که برای تولید تراشه‌های با فناوری زیر ۷ نانومتر ضروری هستند. حال به گزارش SCMP، چین از اولین دستگاه لیتوگرافی پیشرفته خود به منظور خودکفایی رونمایی کرده است.

اولین دستگاه لیتوگرافی بومی چین

دستگاه «شی‌ژی» با بهره‌گیری از یک پرتوی الکترونی متمرکز، توانایی حک کردن الگوهای مدارهای الکترونیکی را با دقت بسیار بالا روی ویفرهای سیلیکونی دارد. این فناوری قادر به تولید خطوطی به باریکی ۸ نانومتر با دقت موقعیت‌یابی ۰.۶ نانومتر است که به استانداردهای بین‌المللی نزدیک است. این دستگاه که نام خود را از اختراع‌های خوشنویسی مشهور چینی برگزیده، از لحاظ قیمت به‌طور قابل توجهی ارزان‌تر از نمونه‌های مشابه وارداتی است و می‌تواند مانع ایجاد شده برای مؤسسات تحقیقاتی در چین را برطرف کند.

با این حال، یک محدودیت عمده وجود دارد: لیتوگرافی پرتوی الکترونی، بر خلاف فناوری‌های DUV و EUV، برای تولید انبوه تراشه‌ها مناسب نیست. سرعت پایین‌تر این فناوری باعث می‌شود که این دستگاه بیشتر به‌عنوان ابزاری برای آزمایش، تحقیق و توسعه و همچنین تولید نمونه‌های اولیه مفید باشد، نه برای تولید تجاری در مقیاس وسیع. اما این پیشرفت به چین فرصتی می‌دهد تا وابستگی‌اش به خارج را در طراحی و آزمایش تراشه‌های پیشرفته کاهش دهد و چرخه نوآوری داخلی را تسریع کند.

معرفی «شی‌ژی» تنها بخشی از تلاش‌های گسترده‌تر چین برای بومی‌سازی کامل زنجیره تأمین نیمه‌رساناها است. در این راستا، برخی گزارش‌های تاییدنشده بیانگر آن است که هواوی در حال آزمایش یک دستگاه EUV تولید شده توسط خود در کارخانه‌اش واقع در دونگوان می‌باشد و ممکن است تولید انبوه با این فناوری را در سال ۲۰۲۶ آغاز کند. در صورتی که هواوی قادر به دستیابی به فناوری ساخت دستگاه EUV شود، این یک نقطه عطف تاریخی محسوب خواهد شد که می‌تواند موازنه قدرت را در صنعت جهانی تراشه به‌طور کامل دگرگون کند و به شرکت‌هایی نظیر هواوی و SMIC این امکان را دهد تا با غول‌های آمریکایی مانند اپل، کوالکام و انویدیا رقابت کنند.